Scanner path as a manipulatable variable for optimal control and diagnostics of CD variations
| Tekijä | Ylisaari, J., Konkarikoski, K., Ritala, R., Kokko, T. & Mäntylä, M. |
|---|---|
| Lehden/sarjan nimi | 2008 Control Systems Pan-Pacific Conference. Conference Proceedings, June 16-18, Vancouver, Canada, 2008 |
| Julkaisuvuosi | 2008 |
| Sivut | p. 81-85 |
| ISBN | 978-1-897023-39-1; 978-1-897023-40-2 |
| Julkaisutyyppi | b3 j2tut Vertaisarvioimaton artikkeli ja esitelmä tieteellisessä konferenssijulkaisussa, kansainvälinen |
| Laitos | Systeemitekniikka |