Mikroanturitutkimukseen soveltuvan puhdastilan ja fotolitografialaitteiston suunnittelu ja käyttöönotto,
| Tekijä | Nieminen, Elina |
|---|---|
| Julkaisuvuosi | 2005 |
| Laitos | Mittaus- ja informaatiotekniikan laitos |
| Tiedekunta | TTY, automaatiotekniikan osasto, mittaus- ja informaatiotekniikka |
| Yliopisto | Tampereen teknillinen yliopisto, |