Backside detection of photoresist development endpoint using surface plasmon resonance
| Tekijä | Ryynänen, T. & Lekkala, J. |
|---|---|
| Lehden/sarjan nimi | ASMC 2007. Proceedings of the 18th Annual IEEE/SMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference, 11-12 June 2007, Stresa, Italy |
| Julkaisuvuosi | 2007 |
| Sivut | p. 283-287 |
| ISBN | 1-4244-0653-6 |
| ISSN | 1078-8743 |
| Julkaisutyyppi | a4 j2tut Referee artikkeli ja esitelmä tieteellisessä konferenssijulkaisussa, kansainvälinen |
| Laitos | Mittaus- ja informaatiotekniikka |