A maskless exposure device for rapid photolithographic prototyping of sensor and microstructure layouts
| Tekijä | Kattipparambil Rajan Dhanes; Lekkala, Jukka |
|---|---|
| Teoksen toimittajat | Jakoby Bernhard; Vellekop Michael |
| Julkaisuvuosi | 2010 |
| Sivut | 1-4 |
| ISSN | 1877-7058 |
| Julkaisutyyppi | a4 j2tut Referee artikkeli ja esitelmä tieteellisessä konferenssijulkaisussa, kansainvälinen |
| Laitos | Systeemitekniikka |