Nanoimprint lithography for photonic devices
| Tekijä | Niemi, Tapio |
|---|---|
| Lehden/sarjan nimi | International Conference on Indium Phosphide and Related Materials IPRM |
| Konferenssin/kokoomateoksen nimi | 23rd International Conference on Indium Phosphide and Related Materials - IPRM 2011, May 22-26, 2011, Berlin, Germany |
| Julkaisuvuosi | 2011 |
| Sivut | 256-259 |
| Julkaisupaikka | Piscataway, NJ |
| Kustantaja | IEEE |
| ISBN | 978-3-8007-3356-9 |
| Julkaisutyyppi | a4 j1tut Referee artikkeli ja kutsuttu esitelmä tieteellisessä konferenssijulkaisussa, kansainvälinen |
| Laitos | Optoelektroniikan tutkimuskeskus |