Menetelmä pulssilaserilla höyrystettävien ohutkalvojen paksuuden reaaliaikaiseen mittaamiseen,
| Tekijä | Hahtala, Mikko |
|---|---|
| Julkaisuvuosi | 2009 |
| Laitos | Optoelektroniikan tutkimuskeskus |
| Tiedekunta | TTY, luonnontieteiden ja ympäristötekniikan tiedekunta, teknis-luonnontieteellinen koulutusohjelma |
| Yliopisto | Tampereen teknillinen yliopisto, |