Soft UV-nanoimprint lithography for the fabrication of frequency selective components
| Tekijä | Viheriälä, J., Tommila, J., Laakso, A., Ranta, S., Vartiainen, I., Tuovinen, H., Telkkälä, J., Vallius, T., Niemi, T., Dumitrescu, M. & Pessa, M. |
|---|---|
| Lehden/sarjan nimi | CLEO Europe - EQEC 2009, 14 - 19 June 2009, Munich, Germany |
| Julkaisuvuosi | 2009 |
| Sivut | 1 p |
| ISBN | 978-1-4244-4080-1 |
| Julkaisutyyppi | a4 j2tut Referee artikkeli ja esitelmä tieteellisessä konferenssijulkaisussa, kansainvälinen |
| Laitos | Optoelektroniikan tutkimuskeskus |