Protective coating for nanoimprint template deposited using atomic layer deposition
| Tekijä | Viheriälä, Jukka; Tommila, Juha; Viljanen, Milla-Riina; Alasaarela, Tapani; Niemi, Tapio |
|---|---|
| Konferenssin/kokoomateoksen nimi | MNE 2010 36th International Conference on Micro & Nano Engineering, Sep 19 - 22, 2010, Genoa, Italy |
| Julkaisuvuosi | 2010 |
| Sivut | 1 p |
| Julkaisutyyppi | a4 j2tut Referee artikkeli ja esitelmä tieteellisessä konferenssijulkaisussa, kansainvälinen |
| Laitos | Optoelektroniikan tutkimuskeskus |