Nanoperforated silicon membranes fabricated by UV-nanoimprint lithography, deep reactive ion etching and atomic layer deposition
| Tekijä | Sainiemi, Lauri; Viheriälä, Jukka; Sikanen, Tiina; Laukkanen, Janne; Niemi, Tapio |
|---|---|
| Lehden/sarjan nimi | Journal of Micromechanics and Microengineering |
| Julkaisuvuosi | 2010 |
| Volyymi | 20 |
| Numero | 7, 077001 |
| Sivut | 1-8 |
| ISSN | 0960-1317 |
| DOI | http://dx.doi.org/10.1088/0960-1317/20/7/077001 |
| Julkaisutyyppi | a1 Referee alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä, kansainvälinen |
| Laitos | Optoelektroniikan tutkimuskeskus |