Nanoimprint lithography - Next generation nanopattering methods for nanophotonics fabrication
| Tekijä | Viheriälä, Jukka; Niemi, Tapio; Kontio, Juha; Pessa, Markus |
|---|---|
| Teoksen toimittajat | Kim, Ki Young |
| Konferenssin/kokoomateoksen nimi | Recent Optical and Photonic Technologies |
| Julkaisuvuosi | 2010 |
| Numero | Chapter 14 |
| Sivut | 275 - 298 |
| Julkaisupaikka | Croatia |
| Kustantaja | InTech |
| ISBN | 978-953-7619-71-8 |
| Julkaisutyyppi | a3 Referee artikkeli tieteellisessä kokoomateoksessa, kansainvälinen |
| Laitos | Optoelektroniikan tutkimuskeskus |