Quality inspection of nanoscale patterns produced by laser interference lithography using image analysis techniques
| Tekijä | Ji, Z., Zhang, J., Olaizola, S.M., Verevkin, Y.K., Peng, C., Tan, C., Berthou, T., Tisserand, S. & Wang, Z. |
|---|---|
| Lehden/sarjan nimi | Proceedings of the 2009 IEEE International Conference on Mechatronics and Automation, ICMA 2009, 9-12 August 2009, Changchun, China |
| Julkaisuvuosi | 2009 |
| Sivut | pp. 1835-1840 |
| ISBN | 978-1-4244-2693-5 |
| Julkaisutyyppi | a4 j2tut Referee artikkeli ja esitelmä tieteellisessä konferenssijulkaisussa, kansainvälinen |
| Laitos | Optoelektroniikan tutkimuskeskus |