Wet oxidation for detecting surface defect pits of AlGaAs related semiconductors
| Tekijä | Peng, C.S.; Konttinen, J.; Jouhti, T.; Liu, H.F.; Pessa, M. |
|---|---|
| Lehden/sarjan nimi | Journal of Crystal Growth |
| Julkaisuvuosi | 2005 |
| Volyymi | 274 |
| Sivut | pp. 138-143 |
| DOI | http://dx.doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2004.09.084 |
| Julkaisutyyppi | ar Artikkeli kansainvälisessä referee-lehdessä |
| Laitos | Optoelektroniikan tutkimuskeskus |