Large-area nanoperforated SiN membranes for optical and mechanical filtering
| Tekijä | Viheriälä, J.; Niemi, T.; Laukkanen, J., Karjalainen, M.; Pessa, M. |
|---|---|
| Lehden/sarjan nimi | Microelectronic Engineering |
| Julkaisuvuosi | 2010 |
| Volyymi | 87 |
| Numero | 5-8 |
| Sivut | 1620 - 1622 |
| ISSN | 0167-9317 |
| DOI | http://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2009.10.033 |
| Julkaisutyyppi | a1 Referee alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä, kansainvälinen |
| Laitos | Optoelektroniikan tutkimuskeskus |