Large area nanoperforated SiN membranes for optical and mechanical filtering
| Tekijä | Viheriälä, J., Niemi, T., Laukkanen, J., Karjalainen, M. & Pessa, M. |
|---|---|
| Lehden/sarjan nimi | MNE 2009, Micro Nano Engineering, 28.9 - 1.10, 2009, Ghent, Belgium |
| Julkaisuvuosi | 2009 |
| Sivut | 2 p |
| Julkaisutyyppi | a4 j2tut Referee artikkeli ja esitelmä tieteellisessä konferenssijulkaisussa, kansainvälinen |
| Laitos | Optoelektroniikan tutkimuskeskus |