Current developments and applications using multi-beam laser interference lithography for nanoscale structuring of materials
| Tekijä | Su, S.Z., Rodriques, A., Olaizola, S.M., Peng, C.S., Tan, C., Verevkin, Y.K., Berthoud, T. & Tisserand, S. |
|---|---|
| Lehden/sarjan nimi | In: Serpenguzel, A. et al. (eds). Photonic Materials, Devices, and Applications II. Microtechnologies for the New Millennium 2007 2-4 May 2007, Gran Canaria, Spain. Proceedings of SPIE |
| Julkaisuvuosi | 2007 |
| Volyymi | 6593 |
| Sivut | pp. 65930G |
| ISBN | 9780819467218 |
| Julkaisutyyppi | a4 j2tut Referee artikkeli ja esitelmä tieteellisessä konferenssijulkaisussa, kansainvälinen |
| Laitos | Optoelektroniikan tutkimuskeskus |