Fabrication of nanoperforated silicon membranes with tunable sized high aspect ratio holes
| Tekijä | Sainiemi, L., Viheriälä, J., Laukkanen, J., Niemi, T. & Franssila, S. |
|---|---|
| Lehden/sarjan nimi | The 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Denver, Colorado, USA, 21 - 25 June, 2009 |
| Julkaisuvuosi | 2009 |
| Sivut | pp. 200-203 |
| ISBN | 978-1-4244-4193-8 |
| Julkaisutyyppi | a4 j2tut Referee artikkeli ja esitelmä tieteellisessä konferenssijulkaisussa, kansainvälinen |
| Laitos | Optoelektroniikan tutkimuskeskus |