Multi-beam laser interference lithography pattern
| Tekijä | Wei, Zhang; Weiping, Liu; Xiaoyong, Gu; Tan, Chunlei; Peng, Changsi |
|---|---|
| Lehden/sarjan nimi | Qiangjiguang Yu Lizishu / High Power Laser and Particle Beams |
| Julkaisuvuosi | 2011 |
| Volyymi | 23 |
| Numero | 12 |
| Sivut | 3157-3162 |
| ISSN | 1001-4322 |
| DOI | http://dx.doi.org/10.3788/HPLPB20112312.3157 |
| Julkaisutyyppi | a1 Referee alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä, kansainvälinen |
| Laitos | Optoelektroniikan tutkimuskeskus |