Highly Selective Etch Stop Layer for GaSb Substrate Removal
| Tekijä | Lindfors, Jukka; Paajaste, Jonna; Koskinen, Riku; Härkönen, Antti; Suomalainen, Soile; Guina, Mircea |
|---|---|
| Lehden/sarjan nimi | Semiconducting and Insulating Materials Conference SIMC |
| Konferenssin/kokoomateoksen nimi | 16th Semiconducting and Insulating Materials Conference (SIMC-XVI) June 16 - 23, 2011, Stockholm, Sweden |
| Julkaisuvuosi | 2011 |
| Sivut | 1-1 |
| Julkaisupaikka | Stockholm |
| Kustantaja | Royal Institute of Technology |
| Julkaisutyyppi | a4 j2tut Referee artikkeli ja esitelmä tieteellisessä konferenssijulkaisussa, kansainvälinen |
| Laitos | Optoelektroniikan tutkimuskeskus |