Laser interference lithography for nanoscale structuring of materials: From laboratory to industry
| Tekijä | Rodriquez, A., Echeverria, M., Ellman, M., Perez, N., Verevkin, Y.K., Peng, C., Berthou, T., Wang, Z., Ayerdi, I., Savall, J. & Olaizola, S.M. |
|---|---|
| Lehden/sarjan nimi | Microelectronic Engineering |
| Julkaisuvuosi | 2009 |
| Volyymi | 86 |
| Numero | 4-6 |
| Sivut | 937-940 |
| ISSN | 0167-9317 |
| DOI | http://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2008.12.043 |
| Julkaisutyyppi | ar Artikkeli kansainvälisessä referee-lehdessä |
| Laitos | Optoelektroniikan tutkimuskeskus |