Soft stamp UV-nanoimprint lithography for fabrication of laser diodes
| Tekijä | Viheriälä, J.; Viljanen, M.-R.; Kontio, J.; Leinonen, T.; Tommila, J.; Dumitrescu, M.; Niemi, T.; Pessa, M. |
|---|---|
| Lehden/sarjan nimi | Journal of Micro-Nanolithography, MEMS, and MOEMS |
| Julkaisuvuosi | 2009 |
| Volyymi | 8 |
| Artikkelinumero | 033004 |
| Sivut | 033004-1-033004-8 |
| ISSN | 1932-5150 |
| DOI | http://dx.doi.org/10.1117/1.3158307 |
| Julkaisutyyppi | ar Artikkeli kansainvälisessä referee-lehdessä |
| Laitos | Optoelektroniikan tutkimuskeskus |