Laser interference nanolithography
| Tekijä | Wang, Z., Zhang, J., Ji, Z., Packianather, M., Peng, C., Tan, C., Verevkin, Y.K., Olaizola, S.M., Berthou, T. & Tisserand, S. |
|---|---|
| Lehden/sarjan nimi | ICMEN, 3rd International Conference of Manufacturing Engineering, 1-3 October 2008, Chalkidiki, Greece |
| Julkaisuvuosi | 2008 |
| Sivut | pp. 929-936 |
| Julkaisutyyppi | a4 Referee artikkeli tieteellisessä konferenssijulkaisussa, kansainvälinen |
| Laitos | Optoelektroniikan tutkimuskeskus |