Maskless exposure device for photolithography,
| Tekijä | Kattipparambil Rajan, Dhanesh |
|---|---|
| Julkaisuvuosi | 2008 |
| Laitos | Biolääketieteen tekniikan laitos |
| Tiedekunta | TTY, luonnontieteiden ja ympäristötekniikan tiedekunta |
| Yliopisto | Tampere University of Technology, |