Menetelmä pulssilaserilla höyrystettävien ohutkalvojen paksuuden reaaliaikaiseen mittaamiseen,
| Author | Hahtala, Mikko |
|---|---|
| Publication year | 2009 |
| Department | Optoelektroniikan tutkimuskeskus |
| Faculty | TTY, luonnontieteiden ja ympäristötekniikan tiedekunta, teknis-luonnontieteellinen koulutusohjelma |
| University | Tampereen teknillinen yliopisto, |