Nanoimprint litography : a next generation patterning method for nanophotonics,
| Author | Viheriälä, Jukka |
|---|---|
| Publication year | 2010 |
| URN | http://URN.fi/URN:NBN:fi:tty-201008191294 |
| Department | Luonnontieteiden ja ympäristötekniikan tiedekunta, Optoelektroniikan tutkimuskeskus |
| University | Tampere University of Technology, |